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激光应用工艺

3介电层的选择性激光烧蚀

产品属性
  • 简介:使用飞秒激光脉冲完成晶片发射极侧上介电层的选择性激光烧蚀 。它可以在不损害发射层的情况下精确移除上层。 选择性激光烧蚀介质层的特点: 紫外线辐射 脉冲重复频率高达100 kHz 平均功率达到1,4 W. 形成电极母线和手指的开口

使用飞秒激光脉冲完成晶片发射极侧上介电层的选择性激光烧蚀 。它可以在不损害发射层的情况下精确移除上层。

选择性激光烧蚀介质层的特点:
  • 紫外线辐射

  • 脉冲重复频率高达100 kHz

  • 平均功率达到1,4 W.

  • 形成电极母线和手指的开口

太阳能电池的电介质层消融.jpg来自太阳能电池的SiNx消融.jpg在太阳能电池上烧蚀的手指和母线.jpg

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